发明名称 STRAINED CHANNEL FET USING SACRIFICIAL SPACER
摘要
申请公布号 EP1805796(A4) 申请公布日期 2008.10.01
申请号 EP20050800298 申请日期 2005.09.29
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION;KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 CHEN, HUAJIE;CHIDAMBARRAO, DURESETI;OH, SANG-HYUN;PANDA, SIDDHARTHA;RAUSCH, WERNER A.;SATO, TSUTOMU;UTOMO, HENRY, K.
分类号 H01L21/8238;H01L21/336 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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