发明名称 简化的微镜制造工艺
摘要 一种微镜,包括:衬底上的铰链支撑柱;铰链支撑柱上的铰链连接柱,其中,铰链连接柱包括与铰链支撑柱连接的底层和围绕铰链连接柱处的腔体的侧面层;与铰链连接柱的侧面层相连的铰链部件;以及被配置为绕着铰链部件倾斜的镜面。
申请公布号 CN101276050A 申请公布日期 2008.10.01
申请号 CN200710192870.3 申请日期 2007.11.28
申请人 视频有限公司 发明人 潘晓和
分类号 G02B26/08(2006.01) 主分类号 G02B26/08(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 杜娟
主权项 1、一种微镜,包括:由衬底支撑的铰链连接柱,其中所述铰链连接柱包括底层和围绕所述铰链连接柱中央处的腔体的侧面层;与所述铰链连接柱的所述侧面层连接的铰链部件;以及被配置为绕着所述铰链部件倾斜的镜面。
地址 美国加利福尼亚