单结晶提取装置

摘要

一种单结晶提取装置，其特征在：于提取放入于坩锅内之熔融原料的柱状之单结晶的制造装置中，设有：贯设有小孔且浸渍于上述坩锅内来使围绕上述被提取之单结晶的隔离用环，用来覆盖该隔离用环及隔离用环之外侧的熔融原料而配设之保温板、及配设于上述隔离用环之外侧的熔融原料上方之粒状原料的供应装置。本创作因利用隔离用环将坩锅区分为内外，俾将粒状原料供应于外侧之熔融液面并阻止波纹传播至隔离用环之内侧，且将所供应之原料予以熔解使其向内侧移动，而将熔原料之液面保持在一定且将外侧之熔融液面的温度高于内侧之熔融液面的温度，因此可制造健全之单结晶。故使提取方向之品质均匀化而提高回收率，并可提高大量生产性，可由于实施本发明得到极大的效果。

主权项

1.一种单结晶提取装置,系具有用以收容熔融原料之坩埚及配置于该坩埚之周围俾对坩埚加热之加热器,令坩埚一边朝一定方向旋转,一边令熔融原料朝与前述相反之方向旋转,由坩埚中提起以制造柱状单结晶之装置,其特征在该装置具备:a)隔离用环:下缘部固定于坩埚底部,上缘部由熔融原料部之液面突出,而将上述坩埚分隔成原料熔融区域与单结晶提取区域,且具有多数小孔,使熔融原料仅由原料熔融区域至单结晶提取区域作单方向流动;b)原料供应装置:将块状或柱状矽供给至上述原料熔融区域;c)保温板:由中央部有圆形孔,同时具有用以引导上述块状或柱状矽之孔洞的圆板构件;及连接于前述圆板构件中央部之孔缘,侧壁部朝中心侧倾斜延伸之漏斗状构件所构成,用以覆盖上述原料熔融区域及前述隔离用环自熔融原料液面突出之上缘部前端及内壁部份。