| 发明名称 | 三维微结构及其形成方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了三维微结构及其形成方法。该微结构通过一顺序构造工艺形成并包括相互固定的微结构元件。例如，在用于电磁能的同轴传输线中该微结构获得了应用。 | ||
| 申请公布号 | CN101274735A | 申请公布日期 | 2008.10.01 |
| 申请号 | CN200710093281.X | 申请日期 | 2007.12.28 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司 | 发明人 | C·A·尼克尔斯;S·周;W·D·霍克 |
| 分类号 | B81B1/00(2006.01);B81C1/00(2006.01) | 主分类号 | B81B1/00(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 沙永生 |
| 主权项 | 1、一种三维微结构，其通过一顺序构造工艺形成，所述三维微结构包含：一第一电镀籽晶层；在该第一籽晶层上的微结构元件，其中，该微结构元件具有一第一表面、与该第一表面相对的一第二表面、以及在该第一籽晶层上从该第一表面延伸贯穿至该第二表面的孔；一第二电镀籽晶层，其布置在该第一微结构元件上和该孔内；以及在第一和第二籽晶层上的孔中的电镀的金属。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||