发明名称 METHOD FOR DETERMINING CORRECTION VALUES FOR CORRECTING POSITIONAL MEASURING ERRORS IN A MACHINE COMPRISING AT LEAST ONE TRANSLATORY DISPLACEMENT AXIS
摘要
申请公布号 EP1891399(B1) 申请公布日期 2008.10.01
申请号 EP20060753665 申请日期 2006.05.17
申请人 CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH 发明人 STAADEN, ULRICH;GRUPP, GUENTER;AUBELE, EUGEN, AUBELE
分类号 G01D18/00;G01D5/244 主分类号 G01D18/00
代理机构 代理人
主权项
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