用于检测衬底位置/存在的共用传感器

摘要

一种半导体处理工具的转送室被设计成可与多个处理和/或负载锁定室相耦合。数量较少的衬底传感器被提供至该转送室中用以确认衬底的存在和/或衬底相对于该处理室和/或负载锁定室的位置。在一实施例中，每一处理室和/或负载锁定室可与相邻的室及不相邻的室共享传感器。

主权项

1. 一种用来检测衬底的设备，其至少包含：一转送室，其被设计来与多个其它的室相耦合，其它的室包括至少一处理室及至少一负载锁定室；一第一组传感器，其位于所述转送室内用以显示一衬底被放置成可载入到所述其它室中的一第一室中；及一第二组传感器，其被设置在所述转送室中用以显示一衬底被放置成可载入到所述其它室中的一第二室中；其中：所述其它室的第二室并不与所述其它室的第一室相邻；及第一组传感器中的至少一传感器也属于第二组传感器。