固体摄像装置及其驱动方法

摘要

本发明提供一种固体摄像装置，进行热重置处理并消除1/f噪声和固定图形的各像素的偏差。该固体摄像装置具备：像素(3)，与半导体基板热分离；恒流源(60)；信号线(6)，传输流过像素的恒流的电压；导热开关，通过另一端与半导体基板接触切换到像素与半导体基板热绝缘的第1状态，或者通过另一端与像素接触切换到像素被半导体基板热短路的第2状态；信号检测部(7)，与信号线电容耦合，在第1状态下保持与信号线上的信号(Vs1＝Vdd－Vd0+dVsh+dV)相对应的基准电压(Vc1)，在第2状态下检测基准电压减去与入射光相对应的电压成分(dV′)的第2电压(Vc1－Vd′－dVsh′)。

主权项

1.一种固体摄像装置，其特征在于，具备：半导体基板；像素，将入射光所产生的热能转换成电信号，被支承在形成于所述半导体基板的空腔上，与所述半导体基板热分离；导热开关，一端连接在所述半导体基板上、另一端与所述半导体基板或所述像素中的某一个接触，通过该另一端与所述半导体基板接触，切换到所述像素与所述半导体基板热绝缘的第1状态，或者通过该另一端与所述像素接触，切换到所述像素与所述半导体基板热短路的第2状态；以及，信号检测部，检测所述第1状态下的像素的信号电压与所述第2状态下的信号电压的差分。