工件基准点检测方法及使用该方法的加工装置

摘要

本发明提供一种在机体上利用测量器能够在短时间内高精度地检测出基准点即工件端缘的工件基准点检测方法及使用该方法的加工装置。使工件支承台及工具台相对移动，使测量器的测头抵接于工件并克服弹簧力而后退。使工件支承台与工具台在X轴或Y轴方向上以扫描速度相对移动，测头从工件的端缘脱离。当测头从工件的端缘脱离而在Z轴方向上前进的速度达到规定速度时，由位置检测装置检测工件支承台与工具台的相对位置。基于检测出的X轴或Y轴方向的相对位置，以及在从测头与工件的端缘一致开始到从工件的端缘脱离而前进的速度达到规定速度为止的期间内工件支承台与工具台相对移动的修正距离，来将工件的端缘作为基准点检测出。

主权项

1.一种工件基准点检测方法，使用加工装置并在上述加工装置的机体上检测出工件的基准点，该加工装置具备：对工件进行支承的工件支承台；安装工具的工具台；使上述工件支承台及上述工具台在相互垂直的X、Y、Z轴方向上相对移动的进给装置；对上述工件支承台与上述工具台的上述X、Y、Z轴方向的各相对位置进行检测的位置检测装置；具有测头的测量器，该测头可沿Z轴方向移动地被支承在与上述工具台连结成一体的主体上，且由作用力朝向上述工件施力，而且由位移检测装置来检测测头相对上述主体的位移，该工件基准点检测方法的特征在于，具备：第一工序，由上述进给装置使上述工件支承台及上述工具台相对移动，使上述测头抵接于上述工件并克服作用力而后退；第二工序，由上述进给装置使上述工件支承台及上述工具台在X轴或Y轴方向上以扫描速度相对移动，并使上述测头从上述工件的端缘脱离；第三工序，当上述测头从上述工件的端缘脱离而在Z轴方向上前进的速度达到规定速度时，由上述位置检测装置检测出上述工件支承台与上述工具台的X轴或Y轴方向的相对位置；第四工序，基于由上述第三工序检测出的上述工件支承台与上述工具台的X轴或Y轴方向的相对位置，以及上述工件支承台与上述工具台在下述期间内沿X轴或Y轴方向相对移动的修正距离，来将上述工件的X轴或Y轴方向端缘作为基准点检测出，所述期间是指：通过上述工件支承台与上述工具台的相对移动，从上述测头与上述工件的端缘一致开始到从上述工件的端缘脱离而在Z轴方向上前进的速度达到规定速度为止的期间。