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发明名称 Method of manufacturing high precision integrated circuit capacitors
摘要
申请公布号 EP1420436(B1) 申请公布日期 2008.10.01
申请号 EP20030104025 申请日期 2003.10.30
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 WOFFORD, BILLY A.;NGUYEN, ROBERT
分类号 H01L21/02;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/461;H01L21/8242 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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