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发明名称 FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 EP1199380(B1) 申请公布日期 2008.10.01
申请号 EP20000985841 申请日期 2000.12.22
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 ASAKURA, KENTARO;SHIMIZU, TAKAYA
分类号 C23C16/448;H01L21/31;C23C16/34;C23C16/44;C23C16/458;H01L21/205 主分类号 C23C16/448
代理机构 代理人
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