发明名称 BESCHICHTETES AUFZEICHNUNGSELEMENT AUS AMORPHISCHEM SILIZIUM.
摘要
申请公布号 DE3683239(D1) 申请公布日期 1992.02.13
申请号 DE19863683239 申请日期 1986.09.23
申请人 XEROX CORP., ROCHESTER, N.Y., US 发明人 PAI, DAMODAR M., FAIRPORT NEW YORK 14450, US;DE FEO, PAUL JOSEPH, ONTARIO NEW YORK 14519, US
分类号 G03G5/08;G03G5/082;G03G5/14;G03G5/147;H01L27/14;H01L27/146;H01L31/0248;H01L31/08;(IPC1-7):G03G5/082 主分类号 G03G5/08
代理机构 代理人
主权项
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