一种极性MgO有序薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种极性MgO有序超薄膜的制备方法，该方法包括以下步骤：首先使镁源在抽成真空的真空室内蒸发并沉积在衬底表面，当衬底表面上沉积一个原子层厚的镁层后，向真空室内通入氧气并将衬底温度从室温升高至400℃，待衬底温度稳定后停止通氧，使衬底自然冷却至室温，再依次重复上述两过程交替在衬底表面沉积镁层、氧层。本发明方法在室温下优先沉积一个单原子层的镁层，可以有效地阻止氧与衬底的直接相互作用破坏衬底的晶格对称性，而镁原子层与氧原子层的交替沉积，避免了在热力学平衡作用下(100)面与(111)面的竞争生长，有利于Mg与O的结合，并沿具有六角对称的(111)方向取向生长。

主权项

1. 一种极性MgO有序薄膜的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：首先使镁源在抽成高真空的真空室内蒸发并沉积在衬底表面，当衬底表面上沉积一个原子层厚的镁层后，向真空室内通入氧气并将衬底温度从室温升高至400℃，待衬底温度稳定后停止通氧，使衬底自然冷却至室温，再依次重复上述两过程交替在衬底表面沉积镁层、氧层。