发明名称 |
锗单晶热压形变装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种制备锗单晶的热压形变装置。该装置包括加热和控温系统、真空系统、压力系统等几部分。其中加热和控温系统由真空热压炉和监测炉膛温度的热电偶组成;真空系统由石英钟罩、真空泵以及连接石英钟罩与真空泵的管路组成;压力系统是通过气缸驱动推杆,同放置在石英钟罩内的下模具相连,其中真空热压炉的炉口朝下,底部固定在沿滑轨运动的传动装置上;真空系统、压力系统固定在操作平台上。该系统设计简单,工效得到较大幅度提高。 |
申请公布号 |
CN201125281Y |
申请公布日期 |
2008.10.01 |
申请号 |
CN200720177977.6 |
申请日期 |
2007.09.30 |
申请人 |
中国原子能科学研究院 |
发明人 |
肖红文;陈东丰;勾成;张柏生;成之绪;李际舟;刘蕴韬;孙凯;王洪立;余周香;吴展华;张莉;李眉娟;李峻宏;韩松柏 |
分类号 |
C30B33/02(2006.01);C30B28/08(2006.01);C22F1/16(2006.01) |
主分类号 |
C30B33/02(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
1. 一种锗单晶热压形变装置,包括加热和控温系统、真空系统、压力系统等几部分,其中加热和控温系统由真空热压炉(8)和监测炉膛温度的热电偶组成;真空系统由石英钟罩(7)、真空泵(4)以及连接石英钟罩(7)与真空泵(4)的管路组成;压力系统是通过气缸(5)驱动推杆,同放置在石英钟罩(7)内的下模具相连,其特征在于:所述的真空热压炉(8)的炉口朝下,底部固定在沿滑轨(1)运动的传动装置(2)上,所述的真空系统、压力系统固定在操作平台(9)上。 |
地址 |
102413北京市275信箱65分箱 |