发明名称 高透光性防尘体及其制法
摘要 一种高透光性防尘体,系具备( i )装置于护罩衬底上的固持框与( i i )装置在固持框上的透明透光性膜,其中该透光性膜包括 (a) 具厚度 0.2 微米到小于10微米而对波长240至500毫微米的光线之平均透光率至少有85百分数的氧化矽无机膜及 (b) 防反射层,该高透光性防尘体系由下列步骤制得:藉涂布由醇矽之水解作用所形成的溶胶制造薄膜;加热与焙烧该膜以形成无机膜;同时藉分解方法除去有机膜。一种高透光性防尘体,系具备装置于护罩衬底上的固持框与装置在固持框上的透明透光性膜,其中透光性膜形成 ( i ) 低折射率层/高折射率层/底层等三层结构,或 ( i i )低折射率层/高折射率层/底层/高折射率层/低折射率层等五层结构,该高折射率层系无机层而低折射率层则系有机聚合物,该底层包括丙酸纤维素及/或硝化纤维素,且其厚度为 0.5 至10微米;该高折射率层包括(CsBr,CeF3 及/或LaF3 ;及该低折射率层包括聚氟烷基(甲基)丙烯酸酯。
申请公布号 TW182042 申请公布日期 1992.04.11
申请号 TW078109456 申请日期 1989.12.07
申请人 三井石油化学工业股份有限公司 发明人 中川广秋;吾乡时则
分类号 G03F1/14;H01L21/27 主分类号 G03F1/14
代理机构 代理人 何金涂 台北巿大安区敦化南路二段七十七号八楼
主权项 1.一种高透光性防尘体,系具备(i)装置于护罩衬底 上的 固持框与(ii)装置在固持框上的透明透光性膜,其 中该透 光性膜包括(a)具厚度0.2微米到小于10微米而对波 长240 至500毫微米的光线之平均透光率至少有85百分数 的氧化 矽无机膜及(b)防反射层,该高透光性防尘体系由下 列步 骤制得:藉涂布由醇矽之水解作用所形成的溶胶制 造薄膜 ;加热与焙烧该膜以形成无机膜:同时藉分解方法 除去有 机膜。2.一种高透光性防尘体,系具备装置于护罩 衬底上的固持 框与装置在固持框上的透明透光性膜,其中透光性 膜形成 (i)低折射率层/高折射率层/底层等三层结构,或(ii) 低折射率层/高折射率层/底层/高折射率层/低折射 率 层等五层结构,该高折射率层系无机层而低折射率 层则系 有机聚合物,该底层包括丙酸纤维素及/或硝化纤 维素, 且其厚度为0.5至10微米;该高折射率层包括CsBr,CeF 及 /或LaF3:及该低折射率层包括聚氟烷基(甲基)丙烯 酸酯
地址 日本