| 发明名称 | 涡轮分子泵及其堆积物附着抑制方法、基板处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能够抑制堆积物向构成部件附着的涡轮分子泵(18)，用于从腔室(11)排出堆积物附着要因气体，包括：具有沿着排气流的旋转轴(36)的转子(37)；收容该转子(37)的壳体(38)；从该转子(37)相对于旋转轴(36)垂直突出的多个旋转翼(39)；和从壳体(38)相对于旋转轴(36)垂直突出的多个静止翼(40)，多个旋转翼(39)被分割成多个旋转翼组(41)，多个静止翼(40)被分割成多个静止翼组(42)，各旋转翼组(41)和各静止翼组(42)沿旋转轴(36)交互配置，从相对于排气流在比位于最下游侧的旋转翼组(41)的更上游侧开口的气体供给口(43)供给含氩分子的堆积物附着抑制气体。 | ||
| 申请公布号 | CN101275574A | 申请公布日期 | 2008.10.01 |
| 申请号 | CN200810086397.5 | 申请日期 | 2008.03.31 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 山涌纯;守屋刚 |
| 分类号 | F04D19/04(2006.01);F04D29/40(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | F04D19/04(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘春成 |
| 主权项 | 1.一种涡轮分子泵，用于从对基板实施处理的处理室排出堆积物附着要因气体，其包括：具有沿着排气流的旋转轴的旋转体；收容该旋转体的筒状体；从该旋转体相对于所述旋转轴垂直地突出的多个板状的旋转翼；以及从所述筒状体中的与所述旋转体的相对面相对于所述旋转轴垂直地突出的多个板状的静止翼，所述多个旋转翼被分割成多个旋转翼组，并且所述多个静止翼被分割成多个静止翼组，各个所述旋转翼组以及各个所述静止翼组沿着所述旋转轴交互地配置，其特征在于：该涡轮分子泵具有气体供给口，该气体供给口相对于所述排气流在位于最下游侧的所述旋转翼组的更上游侧开口，该气体供给口用于供给含有分子量大的气体分子的堆积物附着抑制气体。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||