| 发明名称 | 真空装置 | ||
| 摘要 | 一种真空装置，包括多个低温泵(10)，与一个或多个真空室连接。低温泵(10)经由介质供应管道(12)和介质回流管道(14)与压缩机(16)连接。调节装置(18)连接在至少一低温泵之前，以控制供给低温泵的介质量。此外，低温泵(10)包括温度测量装置。温度测量装置和调节装置(18)与控制器(28)连接。为使所需介质量供给低温泵(10)，按照本发明，调节装置(18)包括在介质供应管道(12)中的节流装置(24)和在节流旁通管道(22)中的控制阀。 | ||
| 申请公布号 | CN100422660C | 申请公布日期 | 2008.10.01 |
| 申请号 | CN200480022767.9 | 申请日期 | 2004.07.14 |
| 申请人 | 莱博尔德真空技术有限责任公司 | 发明人 | 迪尔克·席勒;霍尔格·迪茨;格哈德·W·瓦尔特 |
| 分类号 | F25B9/14(2006.01);F25B41/04(2006.01);F04B37/08(2006.01) | 主分类号 | F25B9/14(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 范莉 |
| 主权项 | 1. 一种真空装置，包括：多个低温泵(10)，连接一个或多个真空室；压缩装置(16)，经由介质供应管道(12)和介质回流管道(14)与低温泵(10)连接；调节装置(18)，连接在至少一低温泵(10)之前，以控制供给低温泵(10)的介质量；温度测量装置，与低温泵(10)连接；和控制器(28)，与调节装置(18)及温度测量装置连接；其特征在于，调节装置(18)包括布置在相应的介质供应管道(12)内的节流装置(24)，以及布置在跨越节流装置的节流旁通管道(22)内的阀(26)。 | ||
| 地址 | 德国科隆 | ||