发明名称 method for fabricating semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100861282(B1) 申请公布日期 2008.10.01
申请号 KR20020031138 申请日期 2002.06.03
申请人 发明人
分类号 H01L27/092;H01L21/8228;H01L21/8238 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
主权项
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