螺旋谐振器型等离子体处理设备

摘要

本发明公开了一种螺旋谐振器等离子体处理设备。该等离子体处理设备包括：处理室，该处理室具有衬底托架，该衬底托架支撑待处理的衬底；设置在处理室上以便与处理室的内部空间相连通的介电管；围绕介电管的外管缠绕的螺旋线圈；以及向螺旋线圈供给RF功率的RF电源。介电管为双管形式，包括内管和外管。而在外管内设置等离子体源气体入口，用以将等离子体源气体供给到内管和外管之间的空间内。在介电管内设置控制电极，用以控制等离子体电势。这种等离子体处理设备提供了沿晶片径向的均匀等离子体密度分布，并易于控制处理室内的等离子体电势。

主权项

1. 一种螺旋谐振器等离子体处理设备，包括：处理室，该处理室具有支撑待处理的衬底的衬底托架；介电管，该介电管设置在处理室上，以便与处理室的内部空间连通，在该介电管中设置源气体入口，用以提供等离子体源气体；围绕介电管缠绕的螺旋线圈；将RF功率施加到螺旋线圈上的RF电源；设置在介电管内的控制电极，用以控制介电管内产生的等离子体电势；以及可变DC电源，用以将预定电势施加到控制电极上。