| 发明名称 | 抽真空装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种抽真空装置，用于将一个腔室抽真空至高真空范围内的压力，该抽真空装置包括：一个大气压力侧的真空泵；一个机械动力的真空泵，该机械动力的真空泵设计为具有一个转子和一个定子，定子有一个旋转对称的内表面，该内表面与转子的外部几何形状适配，机械动力真空泵的转子配备一个用于从抽吸侧至与压力侧真空泵相连接的压力侧的输送气体结构；所述用于输送气体的结构包括其升角和宽度从抽吸侧至压力侧递减的接片，机械动力真空泵的转子外径和定子内径从抽吸侧至压力侧递减，转子包括一个套筒，所述套筒支承接片并且以这样的方式呈锥形地构成，使得它的直径从抽吸侧至压力侧递增。 | ||
| 申请公布号 | CN100422565C | 申请公布日期 | 2008.10.01 |
| 申请号 | CN03812962.0 | 申请日期 | 2003.05.16 |
| 申请人 | 奥林肯莱博尔德真空技术有限责任公司 | 发明人 | 拉尔夫·阿达米茨;罗兰·布卢门塔尔;迪尔克·卡利施 |
| 分类号 | F04D19/04(2006.01);F04D29/32(2006.01) | 主分类号 | F04D19/04(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 张兆东 |
| 主权项 | 1. 一种抽真空装置，用于将一个腔室抽真空至高真空范围内的压力，该抽真空装置包括：一个大气压力侧的真空泵；一个机械动力的真空泵，该机械动力的真空泵设计为具有一个转子和一个定子，定子有一个旋转对称的内表面，该内表面与转子的外部几何形状适配，机械动力真空泵的转子配备一个用于从抽吸侧至与压力侧真空泵相连接的压力侧的输送气体结构；所述用于输送气体的结构包括其升角和宽度从抽吸侧至压力侧递减的接片，机械动力真空泵的转子外径和定子内径从抽吸侧至压力侧递减，转子包括一个套筒，所述套筒支承接片并且以这样的方式呈锥形地构成，使得它的直径从抽吸侧至压力侧递增。 | ||
| 地址 | 德国科隆 | ||