| 发明名称 | 多层膜反射镜及制法、光学系统、曝光装置及元件的制法 | ||
| 摘要 | 本发明的多层膜反射镜(2)包括基板(4)及多层膜(6)，多层膜(6)具有第1材料层(6a)及第2材料层(6b)交替地成膜在上述基板表面上的构造。上述多层膜表面附近的上述第1材料层在面内具有厚度的分布，其中，上述多层膜反射镜(2)含有：中间层(7)，其是成膜在上述多层膜表面上的Si层或含有Si之层，上述中间层表面所处的位置与上述多层膜的上述第2材料层表面所处的位置大致相同；及覆盖层(8)，其均匀地成膜在上述中间层的表面。 | ||
| 申请公布号 | CN101278376A | 申请公布日期 | 2008.10.01 |
| 申请号 | CN200680036526.9 | 申请日期 | 2006.10.04 |
| 申请人 | 株式会社尼康 | 发明人 | 白石雅之 |
| 分类号 | H01L21/027(2006.01);G02B5/08(2006.01);G03F7/20(2006.01);G21K1/06(2006.01) | 主分类号 | H01L21/027(2006.01) |
| 代理机构 | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 寿宁 |
| 主权项 | 1.一种多层膜反射镜，其包括基板、及构造上是第1材料层及第2材料层交替成膜在上述基板表面上的多层膜，上述多层膜表面附近的上述第1材料层在面内具有厚度上的分布，其特征为，此多层膜反射镜包括：中间层，其形成在上述多层膜表面上且为Si层或含有Si之层，上述中间层的表面所处的位置与上述多层膜的上述第2材料层的表面所处的位置大致相同；以及覆盖层，其均匀地成膜在上述中间层的表面上。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||