涂布装置及涂布方法

摘要

本发明提供一种即使在引导支承架行走的导轨被分割的情况下，也能够避免大量地生产不良基板、并能够提高涂布基板的合格率的涂布装置及涂布方法。该涂布装置具备：配设有保持基板的载物台的基台、在上述基台上被设置成沿特定方向延伸的状态且被分割成多个的轨道、以及沿上述轨道相对上述基板进行相对行走并向上述基板上涂布涂布液的涂布单元；该涂布装置具有如下构成：设置了检测上述涂布单元的动作的变动的检测机构，根据该变动检测机构检测出的结果来判断基板上的涂布状态是否良好，在判断涂布状态不适当的情况下，使上述涂布单元停止。

主权项

1、一种涂布装置，具有：配设有保持基板的载物台的基台、在所述基台上以向特定方向延伸的状态设置并被分隔为多个的轨道、以及沿着所述轨道相对于所述基板相对地行走并且向所述基板涂布涂布液的涂布单元，其特征在于，设置检测所述涂布单元的动作变动的变动检测机构，根据该变动检测机构的检测结果来判断基板上的涂布液的涂布状态。