发明名称 | 磁控管 | ||
摘要 | 一种磁控管,具有阴极(1)和阳极(2),该阳极(2)具有叶片(3),该磁控管具有位于其中的隔离表面(4),其面向阴极并且由于阴极处的溅射从阴极接收材料。导体(7)使得这样沉积的膜的电阻能够被测量,从而提供对该膜厚度和磁控管使用寿命的指示。 | ||
申请公布号 | CN101276723A | 申请公布日期 | 2008.10.01 |
申请号 | CN200810086446.5 | 申请日期 | 2008.03.11 |
申请人 | E2V技术(英国)有限公司 | 发明人 | M·B·C·布雷迪 |
分类号 | H01J25/50(2006.01);H01J23/00(2006.01) | 主分类号 | H01J25/50(2006.01) |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 曾祥夌;刘华联 |
主权项 | 1.一种磁控管,所述磁控管包括隔离表面,所述隔离表面暴露于阴极,以便在操作时接收从所述阴极损失的材料。 | ||
地址 | 英国埃塞克斯郡 |