发明名称 耐紫外线材料和密封部件、缓冲部件、遮光部件及光源装置
摘要 本发明提供一种可以在紫外线照射的环境下使用的耐紫外线材料以及使用该耐紫外线材料的密封部件、缓冲部件、遮光部件、光源装置及处理装置。作为准分子放电用气体封入氙气,在形成了放电空间(45)的准分子灯(41)的气密容器(44)上,借助通过由粘土薄膜形成的耐紫外线材料形成的密封部件(48)以及缓冲部件(49)安装透光窗(43)。
申请公布号 CN101275063A 申请公布日期 2008.10.01
申请号 CN200710194738.6 申请日期 2007.11.29
申请人 豪雅冠得股份有限公司 发明人 木暮靖男
分类号 C09K3/00(2006.01);C09K3/10(2006.01);H01J65/00(2006.01);H01S3/00(2006.01) 主分类号 C09K3/00(2006.01)
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 雒运朴;李伟
主权项 1.一种耐紫外线材料,其特征在于,是由使粘土粒子定向地层叠的粘土薄膜形成的材料,具有可自承的机械强度并且相对于紫外线为非反应性。
地址 日本埼玉县