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发明名称 JUNCTION FORMING METHOD AND OBJECT TO BE PROCESSED AND FORMED BY USING SAME
摘要
申请公布号 EP1672683(A4) 申请公布日期 2008.10.01
申请号 EP20040773759 申请日期 2004.10.08
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 SASAKI, YUICHIRO;JIN, CHENG-GUO;MIZUNO, BUNJI
分类号 H01L21/22;H01L21/223;H01L21/265;H01L21/268 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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