对基板作业系统

摘要

本发明涉及一种满足结构紧凑、便利、适应性强等各种要求的对基板作业系统。在系统基座(10，570～574)上，多个对基板作业装置(12)在基板输送方向上整列配置。此外，这些对基板作业装置(12)为(a)可沿着装置轨道移动、(b)可与系统基座(10)分离地模块化、(c)自身也可配置基板输送装置而模块化、(d)相互邻接配置、(f)装置宽度规格化的形式。另外，该系统成为可对跨越在两个以上的对基板作业装置(12)上的电路基板进行作业的形式。再者，对基板作业装置(12)为XY滑动型装置时，滑动装置成为多段式(伸缩式)形式。如此，成为可满足上述要求的系统。

主权项

1、一种对支承电路部件(690)、构成电子电路的电路基板(150)进行预定的一种以上的对电路基板作业的对基板作业系统，包含有：系统基座(10，570～574，590～594)；输送电路基板(150)的基板输送装置(24)；以沿着由该基板输送装置(24，602)输送电路基板(150)的方向、即基板输送方向排列的状态配置于所述系统基座(10，570～574，590～594)上，对至少一部分位于自身的作业区域内的电路基板(150)分别进行所述一种以上的对电路基板作业中的一种的多个对基板作业装置(12，600，612，620，632～636)，其特征在于，所述多个对基板作业装置(12，600，610，620，632～636)的至少一个为作业头平面移动型装置(12)，该作业头平面移动型装置(12)包含有(a)主要对电路基板(150)进行作业动作的作业头(26)，和(b)具有使该作业头(26)分别向垂直的两个方向移动的两个直线移动装置(200，202)、并且使所述作业头(26)在一平面内移动的头移动装置(28)，同时，该对基板作业系统包含有控制所述头移动装置(28)的头移动控制部(710)，所述两个直线移动装置(200，202)的至少一个具有由自身形成平行于所述作业头(26)的移动方向的第1轨道的第1轨道形成部(214)，形成沿该第1轨道移动且平行于该第1轨道的第2轨道的第2轨道形成部(242)，以及保持所述作业头(26)并且沿所述第2轨道移动的移动部(264)，以构成多段式移动装置(202)。