矩形闸阀

摘要

本发明提供了一种具有改进的驱动动作的矩形真空闸阀。本发明的矩形闸阀包括：打开或关闭晶片移动通道的密封件；接合至密封件并具有引导件的主轴；具有第一引导槽的壳体支架，引导件插入该第一引导槽中。该闸阀还包括设在壳体支架中的阀驱动单元，该阀驱动单元具有气缸、设在气缸中的活塞、接合至活塞的活塞杆、接合至活塞杆的活动单元及连接在活动单元和主轴之间的连杆。该闸阀还包括引导支架，该引导支架具有从壳体支架向下延伸的垂直支架、形成在该垂直支架中的第二引导槽及接合至垂直支架的水平支架。该闸阀还包括引导连杆，该引导连杆的第一端接合至主轴并且其第二端插入第二引导槽，使得引导连杆沿第二引导槽运动以引导主轴的运动。

主权项

1. 一种矩形闸阀，该矩形闸阀包括：密封件，该密封件用于打开和关闭晶片移动通道；主轴，该主轴的上端接合至所述密封件，且从该主轴的侧壁伸出有引导件；壳体支架，该壳体支架中具有第一引导槽，该第一引导槽垂直地形成在所述壳体支架中，并且所述主轴的所述引导件插入该第一引导槽中；设置在所述壳体支架中的阀驱动单元，该阀驱动单元包括：通过空气压力进行操作的气缸；设置在所述气缸中的活塞；接合至所述活塞的活塞杆；接合至所述活塞杆的活动单元；以及连接在所述活动单元和所述主轴之间的连杆；引导支架，该引导支架包括：垂直支架，该垂直支架从所述壳体支架的下表面向下延伸，且具有形成在该垂直支架的纵向表面中的第二引导槽；以及水平支架，该水平支架接合至所述垂直支架的下端；以及引导连杆，该引导连杆的第一端接合至所述主轴的外周面，并且该引导连杆的第二端插入到所述第二引导槽中，所述引导连杆沿着所述第二引导槽运动以引导所述主轴的运动。