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发明名称
摘要
申请公布号 JP4158214(B2) 申请公布日期 2008.10.01
申请号 JP19970299801 申请日期 1997.10.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/822;H01L27/04;G05F3/20;G06G7/12;H03F1/30;H03F3/45 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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