抗蚀剂组合物

摘要

一种抗蚀剂组合物，它包括下列含氟聚合物(A)、在光照下产生酸的酸生成化合物(B)和有机溶剂(C)；含氟聚合物(A)：具有受保护的酸性基团的含氟聚合物，它具有式(1)的氟化二烯环化聚合形成的单体单元和聚合式(2)的丙烯酸类单体形成的单体单元，当通过聚合式(1)的氟化二烯和式(2)的丙烯酸类单体得到的共聚物没有受保护的酸性基团时，它可通过在共聚物中形成受保护的酸性基团来得到：CF₂＝CR¹-Q-CR²＝CH₂(1)和CH₂＝CR³-CO₂R⁴(2)。R¹、R²、R³、R¹和Q的定义见说明书。

主权项

1. 一种抗蚀剂组合物，它包括下列含氟聚合物(A)、在光照下产生酸的酸生成化合物(B)和有机溶剂(C)：含氟聚合物(A)：具有受保护的酸性基团的含氟聚合物，它是一种具有由式(1)的氟化二烯环化聚合形成的单体单元和由式(2)的丙烯酸类单体聚合形成的单体单元的含氟聚合物，当通过聚合式(1)的氟化二烯和式(2)的丙烯酸类单体得到的共聚物没有受保护的酸性基团时，它通过在共聚物中形成受保护的酸性基团来得到：CF2＝CR1-Q-CR2＝CH2 (1)其中R1和R2，它们是相互独立的，各自是氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基，Q是二价有机基团，它是能够用酸来形成酸性基团的受保护的酸性基团、酸性基团或者除了酸性基团之外的能够转变成受保护的酸性基团的基团；CH2＝CR3-CO2R4 (2)其中R3是氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基，R4是氢原子、烃基、具有酸性基团的有机基团、具有能够用酸形成酸性基团的受保护的酸性基团的有机基团、或者具有除了酸性基团之外能够转变成受保护的酸性基团的基团的有机基团。