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发明名称 AMMONIA-FREE ALKALINE MICROELECTRONIC CLEANING COMPOSITIONS WITH IMPROVED SUBSTRATE COMPATIBILITY
摘要
申请公布号 PL199523(B1) 申请公布日期 2008.09.30
申请号 PL20020367434 申请日期 2002.07.08
申请人 MALLINCKRODT BAKER INC. 发明人 HSU CHIEN-PIN SHERMAN
分类号 C11D3/26;C11D7/32;C11D3/00;C11D3/02;C11D3/20;C11D3/28;C11D3/30;C11D3/32;C11D3/33;C11D3/42;C11D3/43;C11D7/08;C11D7/26;C11D7/34;C11D7/50;C11D11/00;C23G1/18;C23G1/20;C23G5/036;G03F7/42;H01L21/304;H01L21/306 主分类号 C11D3/26
代理机构 代理人
主权项
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