发明名称 FLUID-COOLED ION SOURCE
摘要
申请公布号 KR100860931(B1) 申请公布日期 2008.09.29
申请号 KR20067019616 申请日期 2006.09.22
申请人 发明人
分类号 H01J27/02;H01J7/24 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
主权项
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