| 发明名称 | 检查装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种检查装置，其将晶片吸盘的移动范围抑制在最小限度内，并消减对准机构，由此能够促进装置自身的低成本化，并且能够大幅度消减印迹，使检查的生产能力(throuth－put)提高。本发明的检查装置(10)具备能够在X、Y和Z方向移动的2个位置的载置台(13)、分别配置在这些晶片吸盘(13)的上方的2个位置的探测卡(14)、和在2个位置的晶片吸盘(13)共用且用于进行一个晶片吸盘(13)上的半导体晶片(W)和与此对应的探测卡(14)的对准的对准机构(15)，对准机构(15)具备对准桥(15B)，该对准桥(15B)具有对准用的第一CCD照相机(15A)、并且为了对准而以与2个位置的晶片吸盘(13)各自的X、Y位置一致的方式进行移动、停止。 | ||
| 申请公布号 | CN101271858A | 申请公布日期 | 2008.09.24 |
| 申请号 | CN200810082228.4 | 申请日期 | 2008.02.26 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 铃木胜;山本保人 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01);H01L21/66(2006.01);G01R31/26(2006.01);G01R31/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/68(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘春成 |
| 主权项 | 1.一种检查装置，其包括能够在X、Y方向移动的载置台、和进行所述载置台上的被检查体的对准的对准机构，其特征在于：所述对准机构具备为了对所述载置台上的被检查体进行摄像而仅能够在X方向或Y方向的任一方向上移动并能够在任意位置停止的第一摄像单元，该检查装置具有通过使所述第一摄像单元和所述载置台向各自的能够移动的方向移动而进行所述被检查体的对准的控制单元。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||