发明名称 一种扫描电镜样品台
摘要 本实用新型提供一种扫描电镜样品台,包括样品座和圆台,其中圆台的底部设有与扫描电镜样品室螺纹连接的螺杆,其顶端中心设有安装样品座的孔,其特征在于:样品座为一组,尺寸大小不一,孔为螺孔,样品座插入孔的端部设有螺纹。用于做扫描SEM和能谱EDS时,圆台螺杆与扫描电镜样品室连接为一体,然后根据样品的多少,选择一大小相应的样品座螺纹旋入圆台的孔中固定,最后把样品固定到样品座上,即可进行SEM和EDS的观测;用于做EBSD时,圆台经螺杆与扫描电镜样品室连接为一体,电子背散射衍射专用座插入圆台顶端中心设置的孔中,再将样品座安装到专用座的插孔中固定,最后把样品固定到样品座上,即可对样品进行EBSD检测。该产品功能齐全,通用性强。
申请公布号 CN201122146Y 申请公布日期 2008.09.24
申请号 CN200720157306.3 申请日期 2007.11.16
申请人 山东理工大学 发明人 郭红;李正民;冯柳;杜守旭;陈志伟
分类号 G01N13/10(2006.01);G01N23/00(2006.01) 主分类号 G01N13/10(2006.01)
代理机构 淄博科信专利商标代理有限公司 代理人 吴红
主权项 1、一种扫描电镜样品台,包括样品座(1)和圆台(2),其中圆台(2)的底部设有与扫描电镜样品室螺纹连接的螺杆(3),其顶端中心设有安装样品座(1)的孔(4),其特征在于:样品座(1)为一组,尺寸大小不一,孔(4)为螺孔,样品座(1)插入孔(4)的端部设有螺纹。
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