发明名称 |
一种扫描电镜样品台 |
摘要 |
本实用新型提供一种扫描电镜样品台,包括样品座和圆台,其中圆台的底部设有与扫描电镜样品室螺纹连接的螺杆,其顶端中心设有安装样品座的孔,其特征在于:样品座为一组,尺寸大小不一,孔为螺孔,样品座插入孔的端部设有螺纹。用于做扫描SEM和能谱EDS时,圆台螺杆与扫描电镜样品室连接为一体,然后根据样品的多少,选择一大小相应的样品座螺纹旋入圆台的孔中固定,最后把样品固定到样品座上,即可进行SEM和EDS的观测;用于做EBSD时,圆台经螺杆与扫描电镜样品室连接为一体,电子背散射衍射专用座插入圆台顶端中心设置的孔中,再将样品座安装到专用座的插孔中固定,最后把样品固定到样品座上,即可对样品进行EBSD检测。该产品功能齐全,通用性强。 |
申请公布号 |
CN201122146Y |
申请公布日期 |
2008.09.24 |
申请号 |
CN200720157306.3 |
申请日期 |
2007.11.16 |
申请人 |
山东理工大学 |
发明人 |
郭红;李正民;冯柳;杜守旭;陈志伟 |
分类号 |
G01N13/10(2006.01);G01N23/00(2006.01) |
主分类号 |
G01N13/10(2006.01) |
代理机构 |
淄博科信专利商标代理有限公司 |
代理人 |
吴红 |
主权项 |
1、一种扫描电镜样品台,包括样品座(1)和圆台(2),其中圆台(2)的底部设有与扫描电镜样品室螺纹连接的螺杆(3),其顶端中心设有安装样品座(1)的孔(4),其特征在于:样品座(1)为一组,尺寸大小不一,孔(4)为螺孔,样品座(1)插入孔(4)的端部设有螺纹。 |
地址 |
255049山东省淄博市张店区张周路12号 |