移动式XY载物台

摘要

在架台上设置九个消振支架，在其上设置石制固定平台。并且，在石制固定平台上设置一对导向基座，在其上设置可以相对于石制固定平台沿Y方向移动的、由CFRP构成的一对支柱。此外，在一对支柱之间架有由CFRP构成的横梁。进而，设置可以相对横梁沿X方向移动的移动基座，在移动基座上搭载激光光学单元。

主权项

1. 一种移动式XY载物台，包括：固定平台；一对支柱，设置于所述固定平台上使之在平行于所述固定平台的上表面的第一方向上相互平行间隔，在垂直于所述第一方向的第二方向上可以移动；横梁，架于所述一对支柱之间；以及移动基座，被设置得相对该横梁可以沿所述第一方向移动，其特征在于，所述一对支柱由杨氏模量为200Gpa以上的第一复合材料构成，所述横梁由杨氏模量为200Gpa以上的第二复合材料构成，所述横梁是由外壳构成的中空体，在该外壳的上表面形成有第一孔，所述移动式XY载物台还包括：平移式导向轴承，引导所述移动基座的移动，由金属或合金构成，配置于所述横梁的上表面，在与所述第一孔匹配的位置形成第二孔；垫板，由金属或合金构成，配置在所述横梁的内部，在与所述平移式导向轴承相向的位置上从内部夹住所述外壳，并在与所述第一孔匹配的位置形成第三孔；以及固定部件，贯穿所述第二孔、所述第一孔以及所述第三孔，把所述平移式导向轴承固定于所述横梁，在所述横梁的内部具有支撑件，该支撑件由所述第二复合材料构成，并在所述横梁的长度方向上延伸，用于区划所述横梁的内部。