| 发明名称 | 一种制备溅射靶材料的方法 | ||
| 摘要 | 一种制备溅射靶材料的方法，其包括：利用塑性加工和热处理工艺相互结合作用，把铝或铝合金制备成溅射靶材料，使用空气锤作为塑性加工设备，通过限程备件标准块控制材料变形量，通过受力面的变化控制材料变形方向，过程温度通过表面温度探测器进行监测。与现有技术相比，本发明的优点在于通过空气锤这种可控性塑性加工设备的运用，不仅使得加工设备和加工工艺的重复性、可控性得以保证，而且加工方式简单，设备投入小，效率也较高，对操作人员的要求也更为简单；同时通过与热处理工艺的不同组合控制，可以实现对材料晶粒大小的控制，得到人们所要求的晶粒大小和组织织构取向。 | ||
| 申请公布号 | CN100420757C | 申请公布日期 | 2008.09.24 |
| 申请号 | CN200610053716.3 | 申请日期 | 2006.09.29 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 发明人 | 姚力军;潘杰 |
| 分类号 | C21D8/00(2006.01);C22F1/00(2006.01);C23C14/34(2006.01) | 主分类号 | C21D8/00(2006.01) |
| 代理机构 | 宁波诚源专利事务所有限公司 | 代理人 | 徐雪波 |
| 主权项 | 1. 一种制备溅射靶材料的方法，其包括：利用塑性加工和热处理工艺相互结合作用，把铝或铝合金制备成溅射靶材料，具体步骤如下：(1)利用加热炉把材料均匀预热至130-170℃；(2)利用塑性加工设备对材料进行垂直于轴向的塑性加工，过程温度控制在250℃以下；(3)使用热处理炉对材料进行温度在250-500℃的热处理加工，保温一定时间后进行水冷；(4)将该材料再次均匀预热至130-170℃；(5)利用塑性加工设备对材料进行平行于轴向的塑性加工，过程温度控制在250℃以下。 | ||
| 地址 | 315400浙江省余姚市阳明科技工业园区江丰路1号 | ||