发明名称 |
有机场致发光膜蒸镀用蒸镀源 |
摘要 |
本发明提供了可以补偿加热装置与蒸镀材料表面之间的间隔变化的、用于形成有机场致发光膜的蒸镀源。包括:容器,由上部板、侧壁和底构件构成;加热装置,对蒸镀材料提供热量;以及移动装置,根据探测装置的信号进行工作,移动加热装置,加热装置借助于移动装置向下移动,使得加热装置与蒸镀材料表面之间的间隔维持初始设定值。探测装置和加热装置设置在上部板上,移动装置包括:多个缸筒,使上部板上下移动;以及控制装置,接收探测装置的信号,当上部板与蒸镀材料表面之间的间隔比设定的间隔大时,使缸筒工作,沿侧壁向下移动上部板。 |
申请公布号 |
CN100420770C |
申请公布日期 |
2008.09.24 |
申请号 |
CN200510068716.6 |
申请日期 |
2003.07.18 |
申请人 |
乐金显示有限公司 |
发明人 |
金起范;金相大;韩允洙;卓润兴;金锡洲 |
分类号 |
C23C14/24(2006.01);C23C14/12(2006.01);C23C14/54(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/24(2006.01) |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 |
代理人 |
徐金国 |
主权项 |
1. 一种有机场致发光膜蒸镀用蒸镀源,借助于施加的电源进行加热,将热量传递到在其内部放置的蒸镀材料,使在内部生成的蒸镀材料的蒸气进行喷射,在基板表面形成蒸镀膜,其特征在于,包括:加热装置,包括形成有蒸气放出开口的上部板、侧壁和底构件,并对选择的位置提供热量;探测装置,用于探测放置在内部的蒸镀材料表面的高度的变化;以及控制装置,根据上述探测装置检测到的高度变化,有选择地控制上述加热装置的工作,使得只对最接近蒸镀材料表面的位置提供热量。 |
地址 |
韩国首尔 |