一种导引式风向风速传感器

摘要

本发明公开一种导引式风向风速传感器，包括：上盖板、下挡体、侧挡板、通孔、悬臂梁阵列、应变传感器；利用微电子机械系统(MEMS)技术中的光刻、腐蚀技术制作出上盖板；侧挡板；键合上盖板和侧挡板；在硅片上制作出下挡体、通孔、悬臂梁阵列和应变传感器的图案；溅射制作出应变传感器；腐蚀技术制作出通孔和悬臂梁阵列；键合制作的风向导引组件与风敏感组件两部分。这种传感器的特点是风向风速可以同时测量，并可利用微电子机械系统(MEMS)技术将器件制作得很小，可以小于10毫米×10毫米×10毫米。该传感器可以广泛应用于气象探测、环境监测、国防、交通运输等方面。

主权项

1. 一种导引式风向风速传感器，其特征在于，包括：上盖板(1)、下档体(2)、侧挡板(3)、通孔(4)、悬臂梁阵列(5)、应变传感器(6)；侧挡板(3)位于上盖板(1)和下档体(2)之间；上盖板(1)与侧挡板(3)的一面紧密结合；下档体(2)与侧挡板(3)的另一面紧密结合；在下档体(2)本体上分布通孔(4)；侧挡板(3)位于两个通孔(4)之间；悬臂梁阵列(5)位于通孔(4)内；悬臂梁阵列(5)一端与应变传感器(6)一端相连，应变传感器(6)的另一端位于通孔(4)的侧壁内。