垂直探针卡和空气冷却探针头系统

摘要

一种探针卡，其在加热环境中被垂直地安装成大致正交于接受寿命测试的晶片，以限制探针卡暴露到来自于晶片夹盘的热量。该探针卡及探针头组件被安装到支撑轨道上，该支撑轨道具有一个或多个通道，用于使冷空气流到探针头组件及探针卡，且同时其保护挠曲电缆不受热卡盘影响。冷空气流扰动从加热卡盘向上流到探针卡及探针头的对流热空气流，并促进了探针卡和探针头的冷却。

主权项

1、一种探针卡，通常被安装成垂直于受测装置，包括：a)印刷电路板，b)尖端组件，包括在电路板一端上用于接合受测装置的多个探针尖端，c)在电路板的相对端上的多个电触点，d)电路板上的导电图形，用于将电路板一端上的尖端电连接到电路板相对端上的电触点，和e)紧固件，用于将受测装置上方的支承件与大致垂直对准了受测装置的印刷电路板相接合。