发明名称 |
等离子体化学气相淀积装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种等离子体化学气相淀积装置,该装置包括微波功率源及传输部件101、微波谐振腔体102、工艺室与样品台部件103、真空部件104、气路部件105、自动传片部件106、控制部件107,其中,微波谐振腔体内设有等间隔排列的磁场装置306,样品台部件设在工艺室内部,微波谐振腔体、真空部件、自动传片部件分别与工艺室809相连,微波功率源及传输部件与微波谐振腔体相连,控制部件通过接口分别控制微波功率源及传输部件、工艺室与样品台部件、真空部件、气路部件的工作状态,完成薄膜的淀积工艺过程。本实用新型具有大面积均匀性好、淀积速率高、自动化程度和生产效率高、可靠性好、功耗小、稳定性和重复性好的优点,可用作制备微电子薄膜的设备。 |
申请公布号 |
CN201121209Y |
申请公布日期 |
2008.09.24 |
申请号 |
CN200720032642.5 |
申请日期 |
2007.08.31 |
申请人 |
西安电子科技大学 |
发明人 |
杨银堂;周端;柴常春;李跃进;刘毅;汪家友;付俊兴;俞书乐;吴振宇 |
分类号 |
C23C16/511(2006.01);C23C16/52(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/511(2006.01) |
代理机构 |
陕西电子工业专利中心 |
代理人 |
王品华;黎汉华 |
主权项 |
1.一种等离子体化学气相淀积装置,包括微波功率源及传输部件(101)、微波谐振腔体(102)、工艺室与样品台部件(103)、真空部件(104)、气路部件(105),其特征在于:微波功率源及传输部件(101)设有矩形-同轴波导转换器(209)和微波谐振腔同轴波导(210);微波谐振腔体(102)由上圆波导(301)-锥形波导(302)-下圆波导(313)三段组成,底部设有介质窗(303);工艺室与样品台部件(103)设有承片部件(801)和加热部件(814);该工艺室与样品台部件(103)连接有自动传片部件(106);所述的微波谐振腔体(102)、真空部件(104)、自动传片部件(106)、气路部件(105)分别与工艺室与样品台部件(103)相连,所述的每个部件均通过控制部件(107)连接控制。 |
地址 |
710065陕西省西安市太白南路2号 |