SYSTEM AND METHOD FOR HYDROGEN-RICH SELECTIVE OXIDATION,申请号EP20030731596-传众专利搜索

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发明名称	SYSTEM AND METHOD FOR HYDROGEN-RICH SELECTIVE OXIDATION
摘要
申请公布号	EP1532657(A4)	申请公布日期	2008.09.24
申请号	EP20030731596	申请日期	2003.06.06
申请人	AVIZA TECHNOLOGY, INC.	发明人	HERRING, ROBERT, B.;PORTER, COLE;DODWELL, TRAVIS;NAZARENO, ED;RATLIFF, CHRIS;CHATTERJI, ANINDITA
分类号	H01L21/00;H01L21/316;H01L21/321	主分类号	H01L21/00
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