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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR EXPOSING A SUBSTRATE TO LIGHT
摘要
申请公布号 EP1057202(B1) 申请公布日期 2008.09.24
申请号 EP19990963249 申请日期 1999.11.16
申请人 VISTEC ELECTRON BEAM GMBH 发明人 HAHMANN, PETER;BEYER, DIRK;KRAUHS, DOROTHEE;ELSTER, THOMAS
分类号 G03F7/20;H01J37/02;H01J37/20;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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