发明名称 | 扫描电子显微镜多样品装载组合装置 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种扫描电子显微镜多样品装载组合装置,包括与电子显微镜匹配的支座,支座上设置带有多个槽的基座,基座上的各槽中分别插装一个样品座。本实用新型结构合理,样品更换方便、快捷;可以进行多样品、多角度、不同大小样品座的组合;减少了对样品室真空度的影响和污染;使用高导电性金属精密加工,插槽和弹性钢珠确保金属部件之间连接的导电性;可以任何型号和厂家的扫描电子显微镜匹配使用。 | ||
申请公布号 | CN201122570Y | 申请公布日期 | 2008.09.24 |
申请号 | CN200720131193.X | 申请日期 | 2007.12.04 |
申请人 | 南通大学 | 发明人 | 张天一;朱昌来;林琳 |
分类号 | H01J37/20(2006.01) | 主分类号 | H01J37/20(2006.01) |
代理机构 | 南通市永通专利事务所 | 代理人 | 葛雷 |
主权项 | 1、一种扫描电子显微镜多样品装载组合装置,包括与电子显微镜匹配的支座,其特征是:支座上设置带有多个槽的基座,基座上的各槽中分别插装一个样品座。 | ||
地址 | 226019江苏省南通市啬园路9号 |