发明名称 扫描电子显微镜多样品装载组合装置
摘要 本实用新型公开了一种扫描电子显微镜多样品装载组合装置,包括与电子显微镜匹配的支座,支座上设置带有多个槽的基座,基座上的各槽中分别插装一个样品座。本实用新型结构合理,样品更换方便、快捷;可以进行多样品、多角度、不同大小样品座的组合;减少了对样品室真空度的影响和污染;使用高导电性金属精密加工,插槽和弹性钢珠确保金属部件之间连接的导电性;可以任何型号和厂家的扫描电子显微镜匹配使用。
申请公布号 CN201122570Y 申请公布日期 2008.09.24
申请号 CN200720131193.X 申请日期 2007.12.04
申请人 南通大学 发明人 张天一;朱昌来;林琳
分类号 H01J37/20(2006.01) 主分类号 H01J37/20(2006.01)
代理机构 南通市永通专利事务所 代理人 葛雷
主权项 1、一种扫描电子显微镜多样品装载组合装置,包括与电子显微镜匹配的支座,其特征是:支座上设置带有多个槽的基座,基座上的各槽中分别插装一个样品座。
地址 226019江苏省南通市啬园路9号