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发明名称
摘要
申请公布号	JP4157082(B2)	申请公布日期	2008.09.24
申请号	JP20040243437	申请日期	2004.08.24
申请人		发明人
分类号	B24D3/00;B24D3/06;B24D3/34;B24D5/02;B24D5/12;B28D5/02;C22C26/00;H01L21/304	主分类号	B24D3/00
代理机构		代理人
主权项
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