发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08107208(A) 申请公布日期 1996.04.23
申请号 JP19940238667 申请日期 1994.10.03
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SATO AKIRA
分类号 H01L21/8247;H01L21/20;H01L21/336;H01L29/786;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/786;H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
地址