一种柔性结构电热驱动镍微夹钳

摘要

一种柔性结构电热驱动镍微夹钳，属于微机电系统技术领域中的微执行器类。其特征是驱动部分和位移放大部分通过驱动位移杆连接为一个整体结构，驱动部分为V形梁阵列，位移放大部分为集中式柔性结构，整个钳体为十杆机构，通过柔性铰链铰接。其材料为金属镍，采用UV－LIGA工艺制成。本发明的效果和益处是该柔性结构电热驱动镍微夹钳结构类型独特新颖，放大倍数高，输出位移大，响应速度快，控制简单，便于集成，适用于对微小零件进行微操作或微装配等。

主权项

1、一种柔性结构电热驱动镍微夹钳，其特征是驱动部分和位移放大部分通过驱动位移杆(16)连接为一个整体结构；驱动部分为V形梁阵列(1)，由驱动固定杆(4a)和(4b)固定；位移放大部分为集中式柔性结构，由钳体固定杆(5a)和(5b)固定；电极(2a)和(2b)位于固定杆(4a)和(4b)的表面上。