探针单元以及检查装置

摘要

本发明提供一种探针单元以及检查装置，无论有无噪声都可保持较高的检查精度。一种探针单元以及检查装置，探针单元具有：探针组装体，其与设于检查对象板表面上的电路电极相接触来传输检查信号；连接电缆部，其通过探针基部的印刷线路板将上述探针组装体与外部装置电连接，上述连接电缆部具有：FPC板，其将该连接电缆部固定在上述探针组装体侧；驱动用集成电路，其进行伴随着检查的处理；FPC电缆，其传输供检查用的电信号，上述驱动用集成电路安装于上述探针基部的印刷线路板上，上述FPC电缆将上述驱动用集成电路与上述探针组装体连接起来。将从上述探针组装体到FPC电缆的电阻设定为10Ω以下。

主权项

1.一种探针单元，其特征在于，包括：探针组装体，该探针组装体与设置在检查对象板表面上的电路的电极相接触来传输检查信号；连接电缆部，该连接电缆部通过探针基部的印刷线路板将上述探针组装体与外部装置电连接，上述连接电缆部具有FPC板、驱动用集成电路和FPC电缆，该FPC板将该连接电缆部固定在上述探针组装体侧，该驱动用集成电路进行伴随着检查的处理，该FPC电缆传输供检查用的电信号，上述驱动用集成电路安装于上述探针基部的印刷线路板上，上述FPC电缆将上述驱动用集成电路与上述探针组装体连接起来。