| 发明名称 |
一种紫外曝光机 |
| 摘要 |
本实用新型公开了一种紫外曝光机，包括壳体、光源控制系统和曝光室，曝光室设有盖板、曝光平台和发光装置，曝光平台设在发光装置的上方，曝光平台的下方设有气孔，发光装置的下方设有散热装置，发光装置由光源控制系统连接控制，壳体一侧设有光源控制系统的操作指示面板，其中发光装置包括印刷电路板和阵列式均匀排列在印刷电路板上的紫外发光二极管，采用以上结构，紫外发光二极管具有寿命长、耗电少、启动快等优点，能满足不同尺寸晶圆的曝光需要，从而达到曝光效果。 |
| 申请公布号 |
CN201122230Y |
申请公布日期 |
2008.09.24 |
| 申请号 |
CN200720008960.8 |
申请日期 |
2007.12.05 |
| 申请人 |
福州高意光学有限公司 |
发明人 |
林丹;潘守兴;朱丽娟;林磊 |
| 分类号 |
G03F7/20(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1、一种紫外曝光机，包括壳体、光源控制系统和曝光室，曝光室设有盖板、曝光平台和发光装置，曝光平台设在发光装置的上方，曝光平台的下方设有气孔，发光装置的下方设有散热装置，发光装置由光源控制系统连接控制，壳体一侧设有光源控制系统的操作指示面板，其特征在于：发光装置包括印刷电路板和阵列式均匀排列在印刷电路板上的紫外发光二极管。 |
| 地址 |
350014福建省福州市晋安区福兴大道39号福州1108信箱 |
