ETCH MASKS BASED ON TEMPLATE-ASSEMBLED NANOCLUSTERS,申请号EP20040775155-传众专利搜索

发明名称	ETCH MASKS BASED ON TEMPLATE-ASSEMBLED NANOCLUSTERS
摘要
申请公布号	EP1678075(A4)	申请公布日期	2008.09.24
申请号	EP20040775155	申请日期	2004.09.23
申请人	NANO CLUSTER DEVICES LTD.	发明人	BROWN, SIMON, ANTHONY;PARTRIDGE, JAMES ET
分类号	H01L21/033;B82B3/00;G03F1/00;H01J37/317;H01L21/26;H01L21/285;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/768	主分类号	H01L21/033
代理机构		代理人
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