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发明名称 SUBSTRATE PROCESSING EQUIPMENT AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 KR100859602(B1) 申请公布日期 2008.09.23
申请号 KR20077006315 申请日期 2007.03.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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