发明名称 Process for fabricating high performance BiMOS circuits
摘要
申请公布号 EP0418670(B1) 申请公布日期 1997.03.19
申请号 EP19900117264 申请日期 1990.09.07
申请人 NATIONAL SEMICONDUCTOR CORPORATION 发明人 LAGE, CRAIG S.;SMALL, JAMES E.;BASTANI, BAMDAD
分类号 H01L21/02;H01L21/033;H01L21/74;H01L21/8222;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/10;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/320 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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