| 摘要 |
<p>Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам для получения нанодорожек на подложке. В основу полезной модели положена задача уменьшить тепловой дрейф при формировании нанодорожек на подложке. Поставленная техническая задача решается тем, что устройство для получения нанодорожек на подложке, содержащее неподвижное основание, связанный с ним основной пьезопривод, подложку, установленную на подложкодержателе, согласно предложенной полезной модели, снабжено связанными с торцом основного пьезопривода двумя дополнительными пьезоприводами, на каждом из которых закреплен зонд, между подложкой и подложкодержателем выполнена герметичная полость для жидкого азота, устройство дополнительно снабжено источником импульсного нагрева наружной поверхности подложки и источником рабочего газа для подачи газа в пространство между зондами. Предложенные усовершенствования устройства обеспечивают охлаждение подложки в момент осаждения на нее атомов рабочего газа, что и позволяет уменьшить тепловой дрейф при формировании нанодорожек на подложке.</p> |
